基于尺寸依赖的熔化温度模型,建立介电常数的尺寸、成分效应模型.模型预测结果表明,纳米晶体的介电常数随尺寸的减小而减小,并且不同维度的纳米晶体呈现不同的下降趋势.对于纳米半导体合金,随着尺寸的增加,介电常数随成分的变化由直线变为曲线,表现出非线性关系.模型预测结果与实验结果的一致性表明模型的有效性.