<正>等离子体是气体电离后形成的既含有大量高能自由电荷又整体呈电中性状态的物质，具备良好的电场、磁场可作用性，被称为物质存在的第四种形态。在表面工程领域，常常将等离子体或等离子束流作为一种可控的高能量密度热源，实现零件表面处理、改性或涂层制备，一系列基于等离子体热源的表面工程技术应运而生，例如等离子体扩渗、清洗、刻蚀、镀膜、喷涂、熔覆、热处理等。
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