采用1 064 nm激光器在单纵模和多纵模模式下对单晶硅材料的损伤特性进行研究,测试和分析单晶硅损伤阈值和损伤形貌差异,损伤机理以及激光模式对周期性结构的影响。结果表明,激光模式对单晶硅材料的损伤阈值和损伤面积的影响小。因单晶硅材料对激光的强吸收,直接导致单晶硅表面的熔融烧蚀破坏、热应力和等离子体的产生。随着激光能量的增大,由于热应力和等离子体冲击波的存在,使损伤面积以指数形式增大,熔融物质形成喷溅而后消失。
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