摘要

本文结合不确定直驱系统鲁棒性条件以及鲁棒收敛条件,实现对单轴ILC控制器的设计,且完成直驱XY平台系统模型建构,实现优化设计。这一模型在应用中,和传统ILC控制器相比,显著提升了跟踪精度及轮廓精度。仿真结果显示这一方法更具有预测控制正确性。