热处理对红外窗口镀层金属的影响

作者：史梦然; 曹雪峰; 赵建忠

来源：激光与红外, 2011, (06): 657-659.

• 热处理
• 红外透过窗口
• 金属薄膜
• 力学特性 heat treatment
• the infrared window
• metal films
• mechanical property

采用直流磁控溅射法制备红外透过窗口Ge窗的镀层金属。分别讨论了热处理温度和热处理时间对Ge窗金属化体系力学特性的影响。用纳米压痕仪测试仪测试Ge窗金属化体系的显微力学特性,并用金相显微镜观测金属薄膜的表面形貌,发现退火温度对Ge窗片上的金属薄膜的力学特性有较明显影响。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十一研究所