基于层次级联模型的声表面波COM参数提取方法

作者：李桦林; 谭发曾; 伍平

来源：压电与声光, 2022, 44(02): 187-190.

• 声表面波滤波器
• 层次级联
• 耦合模(COM)参数

该文研究了基于层次级联模型的耦合模(COM)参数提取方法。通过仿真42°Y-X LiTaO3衬底的有限长声表面波(SAW)单端谐振器，提取COM参数及建立COM参数数据库，研制了一款1 200 MHz的三换能器混合结构的SAW滤波器。结果表明，实际制作器件响应和仿真幅频响应符合性好，验证了该文提取COM参数方法的可行性，可用于指导SAW滤波器设计。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所