晶圆级微波测试工艺研究

作者：吕磊; 胡晓霞; 郑如意

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(02): 46-51.

• 微波探针台
• 晶圆级测试
• 电磁屏蔽

从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所