基于光丝效应的飞秒激光单次高质量直接切割薄石英玻璃工艺研究（特邀）

作者：廖恺; 王文君; 梅雪松; 刘斌

来源：光子学报, 2021, 50(06): 11-22.

• 激光光学
• 激光成丝
• 飞秒激光
• 石英玻璃
• 玻璃切割

提出了一种基于光丝效应的利用高重频飞秒激光结合高速扫描振镜对200μm石英玻璃进行单次直接切割的方法。优化加工工艺参数,实现了薄石英玻璃的快速高质量切割,加工速度可以达到10 mm/s,崩边小于7.5μm,断面粗糙度小于1μm。该方法实现了薄玻璃切割效率和质量的同步提升,在激光加工领域有较好的应用前景。

• 单位
  西安交通大学; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室