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摘要
研究了经过CO2激光处理的溶胶-凝胶SiO2薄膜的物理化学性能和抗激光损伤性能，研究结果表明激光处理后薄膜表面变得更加光滑，粗糙度从14.08 nm降低到9.76 nm,下降了30%以上；薄膜的厚度随着CO2激光处理功率增加有所降低，经过20 W激光处理后薄膜的厚度下降了17%～28%,而薄膜的弹性模量和硬度等力学性能获得提升，弹性模量从1.5 GPa增加到6 GPa,硬度从40 MPa增加到110 MPa;傅里叶变换红外光谱测试结果表明激光处理后薄膜的傅里叶光谱峰值从1 125 cm-1移动至1 120 cm-1,薄膜中的硅原子和氧原子的平均桥键角变小，原因为CO2激光处理时会使局部温度升高，会加速Si—OH键脱水缩合，孔隙率降低，吸收下降。采用紫外纳秒激光对薄膜进行损伤测试，结果显示经过12 W CO2激光处理后的薄膜与未经过CO2激光处理的薄膜相比损伤面积更小，而损伤阈值从4.8 J·cm-2上升到7 J·cm-2,提升了46%;经过16 W和20 W CO2激光处理的薄膜紫外纳秒激光损伤阈值没有明显变化，原因为较高功率CO2激光处理导致薄膜表面发生烧蚀沉积，沉积物会影响紫外纳秒损伤阈值无法有效改善薄膜的激光损伤性能。研究结果表明CO2激光处理技术可以有效改善溶胶-凝胶SiO2薄膜的弹性模量、硬度等力学性能和抗激光损伤性能，CO2激光的功率对薄膜性能影响较大，CO2激光处理是一种有效的提升溶胶-凝胶SiO2薄膜紫外纳秒激光损伤特性的技术手段。
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单位成都精密光学工程研究中心
