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摘要
<正>一、成果研究背景电子厂房子系统较多，根据项目体量，一般电子厂房自控点位（硬接点）在2万～5万，大体量的半导体厂房会达到10万～20万点位，超大体量可达到30万点位。而其他行业的洁净室项目，自控点位一般在1万以内，体量远低于半导体类厂房项目。所以，半导体厂房显著特点之一就是子系统繁杂，自控点位多。此外，电子厂房耗能较大，温湿度控制精度高，其生产车间内部要求全年四季都维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织、压力平衡等多个参数都提出了严格的要求。据统计，相对于常规空调，
