本发明公开了一种采用飞秒激光在钨箔上打孔并与PDMS结合制备高压漏孔的方法,属于标准漏孔领域,首先利用飞秒激光对钨箔进行打孔,利用丙酮、醋酸和异丙醇去除钨箔表面的氧化物及其他污染物,获得表面清洁的钨箔；然后,将PDMS聚合物层贴到钨箔上即可得到PDMS和钨箔结合制作而成的高压漏孔。本发明制得的新型漏孔流导精确可控,本底漏率低,PDMS方便替换,并具有一定的承压能力,能在更大的压强范围内提供更精确的可控漏率。
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