掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜的研究进展

作者：王银玲; 徐雪青; 徐刚; 何新华

来源：材料导报, 2008, S2: 297-300.

• ZAO薄膜
• 电学光学性能
• 溶胶-凝胶
• 应用 ZAO thin films
• optical and electrical properties
• sol-gel
• application

综述了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜的国内外研究进展,光学性能与电学特性,各种制备方法及应用前景。重点介绍了溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的热处理条件、溶胶浓度、陈化时间、加水量以及稳定剂种类和用量等方面对薄膜结构和性能的影响,并提出了ZAO薄膜的研究关键以及今后的发展方向。

• 单位
  中国科学院广州能源研究所; 华南理工大学