混合集成电路激光调阻技术

作者:朱明锋; 王洋
来源:电子制作, 2018, (09): 68-32.
DOI:10.16589/j.cnki.cn11-3571/tn.2018.09.025

摘要

文本从混合集成电路用激光调阻系统、切割图形、测试方法、编程方法等方面介绍激光调阻技术。