离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用

作者：米高园; 杨崇民; 张建付; 王松林; **龙; 朱筱群; 李明伟

来源：红外技术, 2019, 41(10): 902-907.

• 离子束溅射
• Al2O3薄膜
• 光学窗口
• 环境适应性

为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响。在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、低折射率材料,设计并制备了电视(600～900 nm)和中红外(3.4～4.8mm)双波段高效减反射薄膜,测试结果表明,薄膜的减反射效果良好,具有较强的环境适应性,适合于作为光学窗口薄膜。而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8～3.5mm波段的吸收,以及蓝宝石基片在4.0mm之后的吸收是造成透射率较低的主要原因。

• 单位
  西安应用光学研究所