SiN_x和SiC材料的红外吸收特性研究

作者：王欣; 于晓梅; 田大宇

来源：传感技术学报, 2006, (05): 1778-1780+1784.

DOI：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.124

• 红外
• LPCVD
• PECVD
• 离子注入

采用LPCVD和PECVD技术制作了不同厚度的SiNx和SiC材料样品,使用傅立叶变换红外光谱仪对其进行了红外吸收特性测试,并通过离子注入的方式对其红外吸收特性进行调节.实验结果表明:LPCVDSiNx材料在8~14μm波段存在吸收峰,而PECVDSiNx和SiC材料在3μm~5μm波段和8~14μm波段存在吸收峰.随着材料厚度的增加,吸收度也增加,1μm厚的LPCVDSiNx,红外吸收度可以达到0.92.离子注入可改变材料的红外吸收能力.

• 单位
  北京大学