基于有限元分层级联技术SAW滤波器精确计算

作者：陈正林; 赵雪梅; 贺艺; 潘虹芝; 白涛; 杜雪松; 李桦林; **; 陈彦光; 马晋毅

来源：压电与声光, 2022, 44(02): 234-241.

• SAW器件
• 精确表征
• 分层级联技术(HCT)
• 全波仿真

针对任意复杂结构声表面波(SAW)器件精确快速分析及其内部多物理场耦合效应的精确表征问题，该文在充分考虑SAW器件实际存在的各种影响因素下，采用有限元分层级联算法推导出有限长结构SAW器件的有限元数学模型。基于全波仿真技术，考虑管座及键合线等封装模型电磁效应，对漏波型42°Y-X LiTaO3温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件进行计算，通过与实验结果对比，验证了计算模型的精确性，为高性能SAW器件的精确快速设计提供了支撑。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所