NEMS谐振器的研究与分析

作者：宋达; 刘文平; 李铁; 李昕欣; 王跃林

来源：电子器件, 2005, (01): 30-34.

• NEMS
• 纳米技术
• 谐振器 NEMS
• nanotechnology
• resonators

介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中科院上海微系统与信息技术研究所; 浙江大学