硅片研磨机的研磨料连续供给系统设计

作者：刘军; 谢鸿波; 赖韶辉; 姚永红

来源：工程技术研究, 2018, (04): 12-14.

DOI：10.19537/j.cnki.2096-2789.2018.04.005

• 研磨机
• 研磨料
• 连续供给

文章介绍了硅片双面研磨机及其工艺,指出单磨料桶供料系统不能连续供给研磨料。设计了双磨料桶供料系统,在硅片双面研磨机上实现了液态研磨料的连续供给。

• 单位
  广州半导体材料研究所