介绍一种基于迈克尔孙干涉的光学元件厚度测量实验装置.首先分析迈克尔孙干涉法测量厚度的原理;然后搭建迈克尔孙干涉光路,利用CCD和计算机对干涉条纹进行采集和观察,使用MATLAB软件对干涉图像进行处理,得出载玻片的厚度信息;最后对影响测量精度的因素进行分析.实验结果表明利用MATLAB软件配合迈克尔孙干涉装置可以更加准确和方便的测量元件厚度.
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