沉积温度对BiFeO₃薄膜的微观结构与化学计量比的影响

作者：雷炜斌; 齐瑞娟; 张怀斌

来源：电子显微学报, 2021, 40(01): 7-12.

DOI：10.3969/j.issn.1000-6281.2021.01.002

• 微观结构
• 化学计量
• 温度

采用高分辨透射电子显微镜并结合选区电子衍射、X射线能谱仪技术研究沉积温度对BiFeO3薄膜的微观结构与化学计量比的影响。与600℃和700℃沉积的BiFeO3薄膜相比,在500℃沉积的BiFeO3薄膜表面出现了许多岛状的二次相,即Bi2O3。当沉积温度提高到600℃和700℃时,外延BiFeO3薄膜是单晶,并且与SrRuO3缓冲层匹配良好,而且没有出现位错和二次相。通过大量的EDS数据统计分析,在500℃、600℃和700℃生长的BiFeO3薄膜,它们的Bi/Fe摩尔比分别为0.798、0.906和0.870,其中,Bi元素的缺乏可能是由于500℃时析出物Bi2O3的形成和700℃时Bi的挥发所致。

• 单位
  华东师范大学