UVC-LED芯片质量评价方法

作者：杨明德; 李炳乾^*; 梁胜华; 温作杰; 张荣荣; 夏正浩

来源：半导体技术, 2021, 46(05): 402-411.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.05.011

• 短波紫外线(UVC)
• 发光二极管(LED)
• I-V特性
• 辐射通量
• 评价方法

受新冠疫情影响,可用于杀菌消毒的短波紫外发光二极管(UVC-LED)市场需求急剧增加,但是目前对UVC-LED的参数测量没有相应的国家标准,市场上芯片质量良莠不齐,严重制约了UVC-LED的应用。从外延生长质量和芯片制作工艺对UVC-LED宏观光电特性的影响出发,选择I-V特性曲线离散性、辐射强度和辐射通量电流饱和效应作为测量参数,提出了一套能够方便、快速地判断出芯片质量优劣的方法,并搭建了相应的测试系统,对不同厂家的UVC-LED进行了测量和性能评价。实验结果表明,该测试方法和系统能够用于快速评价UVC-LED芯片质量,为企业提供了一种高效、简便的UVC-LED芯片质量评价方法。

• 单位
  材料学院; 五邑大学; 中山市光圣半导体科技有限公司