应用离子束修正高精度CGH基底

作者：马占龙; 彭利荣; 王高文; 谷勇强

来源：中国光学, 2016, 9(02): 270-276.

• 光学制造
• 离子束
• 计算全息图
• 透射波前

计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室