掩模可制造性规则检查的研究

作者：魏晓群; 谢旦艳; 华卫群

来源：电子与封装, 2021, 21(09): 66-69.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0910

• 参数设置
• 曝光效果
• 筛选

掩模可制造性规则检查(Manufacturing Rule Check, MRC)指在完成掩模数据处理后对最终制版图形进行一次规则检查,按设定的制造规则抓出不符合制造规范的图形。数据处理人员需要对抓出的图形进行人工筛选后告知客户。通常由于抓取出的图形种类多、数量多,MRC运行与人工筛选会花费大量时间。对可制造性规则检查的参数设置进行研究,通过参数设置的变化对MRC图形抓取和运行时间的影响进行比较试验,验证了可以利用参数设置减少MRC运行时间与抓取图形的数量。并且通过对加完修正参数之后图形效果的实验研究,验证毛刺等MRC图形在版上未产生实际图形效果,可以忽略。最终达到MRC检查运行与筛选整体时效性的提升。