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摘要
PMN-PT是一种综合性能优异的新型热释电材料。本文以PMN-PT单晶作为热释电探测器材料,开展了8×1线列探测器的芯片结构设计及器件关键工艺研究,获得了8元热释电探测器芯片,电压响应率约280V/W。同时,实现了8元热释电光敏芯片与8元读出电路的耦合互连,得到了8元热释电焦平面原型器件,并进行了性能测试。由于读出电路对可见光存在响应,影响了焦平面模块的热释电信号提取,电路设计有待改进。本文的研究为基于新型弛豫铁电单晶的大规模非制冷焦平面的研制奠定了一定的基础。
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单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院; 中国科学院上海技术物理研究所
