光刻机多体动力学建模方法研究

作者：陈文枢; 魏巍

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(03): 31-34.

• 光刻机
• 动力学
• 仿真模型

对虚拟样机技术的建模工具进行调研,最终选择SimMechanics工具箱作为光刻机动力学建模工具。用拉格朗日方法推导出多刚体系统动力学方程,并在原有商业软件的基础上进行二次开发,满足光刻机多体动力学建模的需求。