利用飞秒激光非热熔性烧蚀的加工特性，以钛箔材质的过滤片零件为加工对象，研究了飞秒激光在钛箔材料微槽结构及外形加工方面的应用，并针对加工需求开发了易氧化薄基材的定位夹具和防氧化技术。试验中通过优化离焦量、加工速度和激光能量等参数，得到了过滤片边缘形貌和底部形貌受激光能量密度的影响规律，最终实现了过滤片零件的精密加工，为薄基材易氧化材料微槽结构零件的加工提供了新思路。
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