绿色制造模式下多晶硅关键生产工艺提升研究

作者：祁麟; 黄贞静; 王子帅; 公静

来源：信息技术与标准化, 2020, (06): 28-31.

• 多晶硅
• 改良西门子法
• 绿色制造

针对国内外主流的改良西门子法多晶硅制备工艺存在的高能耗、低效率、投资成本高等问题,引入绿色制造理念与技术,采用先进冷氢化技术、多晶硅生产线资源再利用技术及不凝气深度回收技术等技术,对多晶硅生产设备、技术、回收利用等制备环节进行改善,实现工艺优化、节能降耗、减轻污染和质量提升。

• 单位
  中国电子技术标准化研究院