表面等离激元热载流子光电探测器研究进展(续)

作者：邱开放; 翟爱平^*; 王文艳; 李国辉; 郝玉英; 崔艳霞^*

来源：半导体技术, 2020, 45(04): 249-254.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.04.001

<正>4其他方式激发SPP效应前文介绍了目前用来激发SPP效应最常见的几种方式,但研究者们也通过其他方式实现了SPP效应的激发,改善了器件的光电性能。最早研究的是利用棱镜耦合来激发SPP[82-85]。激发方式主要分为Kretschmann结构[83]和Otto[82]结构,如图16 (a)和(b)所示,图中θi为光的入射角度。其中Otto结构更为普遍,因为其探测结构可以独立设计,不需要依赖棱镜的结构而进行改变。利用棱镜耦合装置,早期研究者们对MIM

• 单位
  太原理工大学