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摘要
硅片基底形貌是影响太阳电池薄膜沉积和钝化质量的因素之一。以TOPCon电池结构为基础，采用三种不同溶液腐蚀制备了三种不同的硅背表面形貌，结合形貌、反射率、磷杂质掺杂分布、表面钝化结果测试及电池效率和金属接触电阻测试等表征方法分析，发现所制备的电池背表面若粗糙,其背表面陷光性好、金属接触电阻低但钝化质量相对差。而用3.6%(质量分数) KOH溶液、具有消泡和缓蚀作用的添加剂(体积分数)1%,65℃，腐蚀180～300 s制备的电池背表面光滑平坦，虽陷光性差、金属接触电阻高,但其钝化效果却非常高。通过优化金属栅线设计降低金属接触电阻后制备的背面抛光电池光电转换效率和外量子响应均最佳。
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单位青海黄河上游水电开发有限责任公司
