为研制大功率紧凑型太赫兹源,开展了0.22THz大功率太赫兹源的理论设计研究。THz源采用表面波振荡器结构。重点研究了慢波结构对太赫兹源产生信号的影响,并对慢波结构进行了优化。结合二极管参数的选取,对该源结构进行了粒子模拟,结果表明:在馈入电压200kV,电流2900A的条件下,输出信号频率为0.22THz,输出功率为19.5MW,效率约为3.3%。