半导体温度传感器研究进展综述

作者：张洵; 靳东明; 刘理天

来源：传感器与微系统, 2006, (03): 1-3.

• 温度传感器
• 热测试
• 集成电路 temperature sensor
• thermal monitoring
• integrated circuit

半导体温度传感器体积小、功耗低,且能与其他外围控制电路集成在同一芯片上,其应用领域广阔。评述了各种半导体温度传感器的基本实现方式、发展现状,总结了现有各种设计方法中的关键技术及其存在的问题和改进方向。

• 单位
  清华大学