水平辊式扩散制备太阳电池

作者：胡文涛; 卢川; 陈剑辉; 陈静伟; 麦耀华; 许颖

来源：材料保护, 2016, S1: 194-195.

DOI：10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2016.s1.054

• 管式扩散
• 辊式扩散
• 晶硅电池
• ECV
• 方阻

介绍了采用水平辊式扩散工艺制备出了效率大于17%的多晶硅太阳电池;采用五点法测量电池的方块电阻结果较管式扩散均匀性有提升;少子寿命在20μs以上;ECV结果表明辊式扩散易容易实现浅结扩散。

• 单位
  河北大学