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摘要
全反射X射线荧光分析技术(Total-Reflection X-Ray Fluorescence Analysis, TXRF),是一种多元素、高灵敏分析技术，具有样品需求量小、非破坏性、量化方法简单、检测限低、多元素同时分析等特点，适用于痕量元素快速分析，其技术与分析仪器广泛应用于环境、材料、生物、半导体材料等领域，近年来成了X射线荧光光谱学领域的研究热点之一。对全反射X射线荧光分析的技术背景、技术特点、全反射X射线荧光分析物理原理、全反射X射线荧光分析仪器关键部件的发展与新型产品进行了综述，对全反射X射线荧光分析仪器的国内外发展现状进行了梳理和总结，从关键部件、分析方法等方面出发对全反射X射线分析技术与仪器的新应用领域，新型X射线光管与新型SDD探测器的诞生对分析仪器性能的提升以及新定量分析方法对分析精度的影响进行了展望。
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