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摘要
对于半导体材料的研究来说，其在材料内部的元素组成以及含量是影响其性能的一个重要因素，常规的检测方法虽然能够检测出样品中成分以及含量信息，但是在这过程中存在成本高、效率低、耗时长、过程较为繁琐等问题。在分析技术领域不断发展的今天，急需寻找一种便携、新颖、与当今材料相匹配的检测技术。正是基于以上需求，激光诱导击穿光谱（LIBS）技术逐步走进了大众的视野，作者对LIBS技术进行了简要介绍，在此基础上着重介绍了利用LIBS技术来分析半导体材料表面的微分析研究与半导体材料金属氧化物纳米薄膜方面的研究进展，介绍了LIBS技术在这两方面检测的优势以及未来LIBS技术在这些方面的发展。
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