摘要

本发明公开基于便携关节式坐标测量机圆光栅测角误差的自校准方法,包括如下步骤:建立读数头Hj测角函数模型;设置圆光栅测角装置三个读数头的角度间隔,获得三个读数头的圆光栅角度测量值;对三个读数头H1、H2、H3中的两个读数头的差值函数分别进行曲线拟合,分别建立两个读数头测角差值H2-H1、H3-H1、H3-H2与角度位置的函数关系;拟合后的差值曲线进行等角度间隔采样,将采样点进行离散傅里叶变换,并带入其与传递函数的关系式求得傅里叶级数的系数函数F(n);进行离散傅里叶逆变换确定圆光栅测角误差的补偿函数模型ε(θ);利用多面棱体结合自准直仪的标定方法,验证圆光栅测角误差自校准模型的补偿效果。用少读数头完成多阶次谐波误差补偿,提高产品可靠性。