MEMS半填充气相色谱柱研究

作者：李臆; 杜晓松; 高超; 蒋亚东; 齐虹; 王永刚

来源：传感器与微系统, 2014, 33(09): 32-41.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2014)09-0032-03

• 微型气相半填充色谱柱
• 分离效率
• 快速分离
• 微机电系统

采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱,运用深反应离子刻蚀(DRIE)技术,对器件刻蚀深250μm,其微型色谱柱总长度为1m,宽度为160μm,槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE—54固定相。通过理论模拟分析柱结构,得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中,选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂,分别对其进行分离,所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。

• 单位
  光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 中国电子科技集团公司第四十九研究所