氮化铝高温隧道烧结炉控制系统设计

作者：何永平; 邓斌; 万喜新; 王学仕; 周水清; 赵瓛

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(06): 23-26.

• 氮化铝
• 高温隧道烧结
• 控制系统

阐述了一种氮化铝高温隧道烧结炉控制系统,讨论了系统的温度控制和安全防护控制,设计了系统自动工艺的工作流程,并给出了实现的关键代码。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所