大容积密闭容器背压法漏率检测关键技术研究

作者：许阳光^*; 潘晓霞; 刘晓艰; 王彤; 蔡悦; 曾祥兵; 杜宏伟; 廖彬

来源：真空科学与技术学报, 2018, 38(10): 839-845.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2018.10.04

• 大容积密闭容器
• 氦质谱检漏
• 背压法
• 预压氦法

围绕容积为104cm3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程。理论和实验研究结果表明,将背压法用于预制漏率为10-6Pa·m3/s量级的大容积密闭容器的漏率检测是可行的。随着漏孔漏率的降低(低于10-7Pa·m3/s量级),试验件的最低可检漏率也将逐渐低于氦质谱检漏仪的有效检测漏率,而由于被检对象的本底漏率值无法提前获知,将造成将背压法用于更低漏率的大容积密闭容器的漏率测试结果误差极大地增加。相关研究结果对于大容积密闭容器的漏率检测具有一定的理论指导价值。

• 单位
  中国工程物理研究院总体工程研究所