柔性AMOLED具有自发光、较低耗电量、广视角、极高反应速度等优点快速占据了显示领域,由于柔性AMOLED对水质的要求较高,因而与之配套的水处理工艺也需要全面提升设计及规划。本工艺首次对超纯水进行分质供水,针对不同使用情况供应不同超纯水;同时,机能水中臭氧水、二氧化碳水以及氢气水广泛地使用在AMOLED工艺制程中的清洗单元,强化清洗效果;显示行业中居高设计80%的回收率,将大幅降低自来水补水量,减少运行费用。