基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器

作者：孙远^*; 周大海; 刘理

来源：传感器与微系统, 2023, 42(04): 23-26.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)04-0023-04

• 法布里—珀罗干涉仪
• 反谐振效应
• 游标效应
• 温度传感器

提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器，传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成。毛细管可引起反谐振(AR)效应，空气腔具有法布里—珀罗干涉仪(FPI)的作用。利用FPI进行传感，毛细管作为混合级联传感器的参考干涉仪。实验结果表明：所提出的级联传感器的温度灵敏度显著提高，从0.477 nm/℃提高到2.43 nm/℃,与单一FPI相比，放大系数高达5.06。该传感器具有结构简单、性能稳定等优点。此外，基于AR效应的游标效应研究鲜有报道。

• 单位
  光学与电子信息学院; 华中科技大学; 江苏永鼎股份有限公司