一种锯齿波驱动的压电马达

作者：贺良国; 程子阳; 韩江; 王武; 葛新方; 张勇; 高广杰; 严毅

来源：2020-05-15, 中国, ZL202010410573.7.

本发明涉及一种锯齿波驱动的压电马达,属于精密驱动与定位技术领域。包括驱动机构与预紧机构；驱动机构包括本体、压电叠堆和质量块；预紧机构包括夹持块、预紧螺栓和弹簧与。本发明成本低廉,制作简单,仅需一路锯齿波驱动信号以及一个压电叠堆即可实现压电马达的连续单向直线移动。本发明的工作频率为1.25KHz、工作电压为60V,水平轴向移动行程为30mm,水平轴向无负载速度为5mm/s,工作步距为4μm,能够实现微米级定位,厘米级行程,十分适合作为微型扫描探针显微镜,光纤扫描系统等精密机械的微调定位装置。

• 单位
  合肥工业大学