本发明公开了提供一种基于石墨烯的相位调制器、调制方法及制备方法,该相位调制器,包括：自下而上设置于基板上的衬底层、夹层结构和金属层,其中,所述夹层结构自下而上依次包含下约束层、石墨烯层和上约束层；所述石墨烯层的部分表面具有金属薄膜,用于作为外加电压的接地端。衬底层为二氧化硅层；上约束层和下约束层分别为硅层。金属层为铝层。本发明利用石墨烯的电光可调特性,在入射光波长为1550nm时实现对相位的调节,且相位调制器的尺寸较小,有利于实现光电器件小尺寸,高集成的目标。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
