一种应用于角度传感器的Sigma Delta ADC设计

作者：周志兴; 来强涛; 姜宇; 郭江飞; 王成龙; 陈腾; 郭桂良

来源：微电子学与计算机, 2019, 36(08): 25-29.

DOI：10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2019.08.006

• 角度传感器
• 高精度ADC
• Sigma Delta Modulator
• Gain Compensation

采用XH018 0.35μm CMOS工艺设计了一种应用于磁阻角度传感器的Sigma Delta调制器.由于实际运放的增益都是有限的,使得开关电容积分器的信号传输函数的极点发生偏移,进而影响ADC精度,本文采用有限增益补偿技术减小运放增益对开关电容积分器的影响.该调制器采用两阶1 bit全反馈结构,信号带宽12 KHz,采样频率6.25 MHz.后仿结果表明,在2.5 V电源电压下,调制器的整体功耗为4 mW.核心电路版图尺寸为0.45 mm×0.3 mm.在-40℃～150℃,各个工艺角的ENOB≥16.5 bit.FOM=165.

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院微电子研究所