F-P标准具用于量块量值的传递与溯源

作者：张成悌; 薛靓; 付天坤^*; 刘静; 冉莉萍; 徐德宇; 王冠熹; 龚柯安; 李华; 张宝武

来源：中国测试, 2022, 48(S2): 54-58.

• 白光干涉仪
• F-P标准具
• 零次干涉带
• 等倾干涉环

文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构，以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析，充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍，印证该技术可以实现量块自动化检定，特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有的9个优点。

• 单位
  中国测试技术研究院; 中国计量大学