准确预测并校正振镜的误差是实现高精度扫描的关键技术,为了消除振镜误差,提出了一种基于粒子群优化算法(PSO)的卷积神经网络(CNN)预测模型。该模型采用粒子群算法优化卷积神经网络,利用优化过的CNN训练有限个振镜误差数据,实现对振镜全视场误差的准确预测。实验结果表明:与传统的BP神经网络、CNN算法相比,PSO-CNN预测模型对振镜的误差预测具有更高的准确性。