激光清洗纯铝设备线夹工艺及其对电导率的影响

作者：冯勇兵; 毛水强; 陈益坪; 程辉阳; 林俊岑^*; 俞敏波

来源：表面技术, 2022, 51(09): 387-394.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.041

• 激光干式清洗法
• 设备线夹
• 表面形貌
• 元素质量分数
• 电导率

目的 采用激光干式清洗法对模拟纯铝设备线夹的氧化污染表面进行清洗。方法 采用纳秒脉冲激光清洗纯铝板的氧化污染表面。在扫描电镜（SEM）下观察激光清洗前后表面，并采用X射线能谱分析（EDS）测试并分析其元素质量分数。利用电导率测量仪（SIGMATEST 2.069）检测其表面电导率。采用超景深三维显微镜观察激光清洗前后铝板表面形貌，研究激光清洗对其表面形貌、元素含量及电导率的影响规律，从而确定最佳的激光清洗工艺参数。结果 激光干式清洗可有效去除氧化污染表面的O元素和Cl元素，清洗后表面Al、O、Cl元素的质量分数分别达94.02%、5.95%和0.03%,Al元素质量分数较氧化污染表面的37.36%最高提升了151.66%,O和Cl元素则较未清洗表面的59.55%和3.09%最多分别降低了90.01%和99.03%。清洗后的表面电导率可达34.88 MS/m，较氧化污染铝板表面的32.00 MS/m提升9%。最终确定最佳激光清洗工艺为：激光功率120 W，重复频率60 kHz，扫描速度2 875 mm/s，填充线间距0.058 mm，扫描次数3次。结论 激光干式清洗可有效去除铝板氧化污染表面的杂质元素，使得铝元素质量分数大幅提高，并因此提高铝板表面的电导率。

• 单位
  金华送变电工程有限公司