集成电路芯片厂的无尘室空气过滤器选型分析

作者：王伯圣

来源：集成电路应用, 2023, 40(06): 60-61.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.06.023

• 集成电路制造
• 无尘室
• 过滤器效率

阐述集成电路芯片厂Fab无尘室空气含尘浓度、风量、大气含尘浓度、换气次数、过滤器效率参数，验证空气过滤器选型与洁净度等级的要求。探讨芯片厂化学过滤器选型设计指标的经验分享分析。