基于纸基电极的柔性电容式压力传感器

作者：张建; 张鹏; 陈昱丞; 李玉霞; 黄梁松^*

来源：微纳电子技术, 2021, 58(03): 233-253.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2021.03.008

• 电容式传感器
• 多壁碳纳米管(MWCNT)
• 柔性材料
• 可穿戴领域
• 三明治结构

柔性电容式传感器在人体运动检测设备和智能假肢手等可穿戴领域具有广泛的应用。以多壁碳纳米管(MWCNT)为导电材料、A4纸为基底、弹性海绵为介电层,将MWCNT喷涂于A4纸的表面形成电极,设计并制备了基于纸基电极的三明治结构柔性电容式压力传感器。该传感器具有制作工艺简单、材料易得和成本低等特点。测试结果表明:该传感器灵敏度高(0.278k Pa-1,<15k Pa),检测压力范围广(可达50k Pa),动态响应快(360ms),多次循环中保持良好的重复性。实验结果证明:传感器在手指的弯曲程度、抓取物体和传感器阵列压力分布的测试中呈现出良好的性能。

• 单位
  山东科技大学