随着科学技术的不断发展,半导体工艺得以全面升级发展,目前各大芯片设计与生产已向5纳米甚至3纳米迈进。空气中的悬浮分子污染物(AMC)会对半导体行业生产过程中的产品造成不良影响,因此我们要注意洁净厂房中的AMC控制。本文简单介绍了暖通专业在12英寸半导体洁净厂房中对AMC进行控制的方式,分别从设计、选材、施工等多个方面进行AMC控制,以使洁净室的环境达到要求,满足产品生产的需要。
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