高分散稳定性CeO2抛光液的制备及其抛光性能研究

作者：杨朝霞; 张保国^*; 阳小帆; 李烨; 李浩然

来源：稀土, 2022, 43(02): 128-136.

DOI：10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.202202015

• CeO2
• 抛光液
• 球磨
• 化学机械抛光

通过湿固相机械法制备CeO2悬浮液。在不同温度下焙烧Ce2(CO3)3制备CeO2粉末，以无机酸作为分散剂，采用湿式球磨的方法进行CeO2的分散，分别研究了分散剂的种类、料球比以及球磨液的pH值等因素对悬浮液分散性能的影响。结果表明，随着焙烧温度的升高，制备的CeO2粉末的团聚程度先降低后升高。采用硝酸为新型分散剂，当焙烧温度为900℃、球磨液pH为2、料球质量比为1∶4时，所得CeO2的平均粒径(D50)为230 nm。以此CeO2悬浮液作为磨料，在磨料质量分数为1%、pH为5条件下，SiO2材料的抛光速率可达248.9 nm/min,抛光后表面均方根粗糙度(RMS)为0.588 nm。研究结果可以对碳酸铈直接制备氧化铈悬浮液短流程开发提供参考。

• 单位
  电子信息工程学院; 河北工业大学